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2020年度上海市首批次新材料支持指南

分类: 申报指南 时间:2020-10-23作者:科润达

编号 应用领域 新材料名称 主要性能指标
1 新一代信息技术 8、12英寸硅单晶外延片 外延电阻率 1-20ohm·cm,电阻率梯度小于5%,外延层厚度2~10μm,厚度均匀性小于3%。
8、12英寸硅单晶抛光片 硅片整体平整度≤0.4µm,硅片局部平整度(26x8mm)≤0.025µm @100%;表面金属含量(Cr, Fe, Ni, Cu, Na, K, Ca, Al, Zn)≤1×109atoms/cm2。
ArF浸没式光刻胶 适用于28以下技术节点的ArF浸没式(193i)光刻胶。
蚀刻后清洗液 金属杂质含量:各金属离子(Na、K、Ca、Fe、Cu、Ni等)均≤100ppb;颗粒含量(>0.20μm)<100个/mL。
钛蚀刻液 蚀刻速率(25℃):8±2(Å/s);Pvd钛层undercut <0.5μm;配槽稳定性 > 48h;40L槽液8寸晶圆跑片量> 600 pcs;Fe、Co、Ni、Cu、Mg、Mn、Ag每种金属离子含量均≤0.5ppm。
半导体CMP抛光垫 适用于200~300mm 集成电路制造 CMP 工艺用抛光垫。
锆基块体非晶合金 抗拉强度≥1800Mpa;屈服强度≥1500Mpa;弯曲强度>2000Mpa;硬度(Vickers):≥520。
2 高端生物医用 高端医学影像设备用高性能锗酸铋晶体 能量分辨率(662keV、40mm*40mm*30mm晶体单元):≤11%;闪烁衰减时间:300ns ;光输出:≥8光子/keV。
3 航空航天 无人机结构用复合材料 预浸料层间剪切强度≥40MPa;6G静力试验变形不超过35mm;3米跌落试验,纤维不断裂,结构不破坏;高温试验((60±2)℃,49h),结构不变形、不破坏。
航空玻璃原片 可见光透光率≥90%(8mm厚);Al2O3含量:5.0-6.0%Fe2O3含量<0.05%;疵点个数:≤2pcs/(300mmx300mm)(疵点尺寸:0.2-0.3mm),≤1pcs/m2(疵点尺寸:≥0.3mm)。
低温固化耐高温航空模具预浸料 最低触发固化温度:60℃±2℃;固化(190℃10h)后玻璃化转变温度:≥ 240℃ ;固化(190℃10h)后热膨胀系数(30℃-150℃):≤ 3.0x10-6 K-1。
低合金超高强度钢 客机主起落架用300M钢。抗拉强度≥1930MPa,屈服强度≥1590MPa,断面收缩率≥25%。
4 新能源
水上光伏系统用浮体材
拉伸断裂应力≥25 MPa;拉伸断裂标称应变≥400%;简支梁缺口冲击强度≥40 kJ/m2;以上三项指标分别经紫外老化(3000h)、湿热试验(85℃/85%,1000h)、高低温循环(-40℃-85℃/6h,200次循环)、湿冻试验(-40℃-85℃/85%/24h,10周期)后保持率≥75%。
钠冷快堆用核级不锈钢焊条
熔敷金属性能:持久强度(参数法):在550℃下3000小时的平均断裂应力不小于233MPa,在650℃下3000小时的平均断裂应力不小于117MPa;氧含量≤0.05%,氢含量≤5ppm。
5 高端装备 殷瓦合金 力学性能、低温冲击性能、焊接性能等各项性能达到GTT-3020 规格要求;膨胀系数(-180℃-0℃):(1.5±0.5)×10-6/K。
动车组司机室用碳纤维复合材料及构件 抗冲击性能(UIC651-2002):1.0kg的铝弹冲击体以510km/h的速度冲击试样,试样不穿透、不脱框;阻燃要求(EN 45545-2:2013):R1隐患等级HL3,CFE≥20kWm-2、MARHE≤60kWm-2、Ds(4)≤150、VOF4≤300、CITG≤0.75。
高功率合成光栅镀膜材料 -1级衍射效率(1040nm-1090nm):平均衍射效率≥96%;衍射波前:pv<0.5λ(λ=632.8nm);耐激光辐照能力:激光(功率密度60kW/cm2)持续辐照50s,温升低于5℃。
抗硫化氢钻杆粉末内涂层涂料
性能指标满足SY/T0544-2016《石油钻杆内涂层技术条件》要求:耐高温高压性能:液相为 NaOH溶液、pH值12.5、148℃、压力70MPa(N2加压)、试样完全进入液体中24h,试样涂层无气泡,附着力A级;耐酸性能(15%HCl、3%HF,66℃,18h):涂层无变化;耐磨性≥2.0L/μm;抗弯曲性能(2.5°,-30℃):无裂纹。同时,耐硫化氢性能:95℃、压力20Mpa,气相:8%H2S、10%CO2、82%CH4,有机相:(甲苯:煤油=1:1,体积比),水相:5%NaCl溶液,30天,涂层不起泡,不分层,不脱落,不粘连。
高纯偏磷酸钡 铁含量<2ppm、铜、钴、铬、锰、镍、铅含量分别<1ppm、硫酸盐含量<0.008%、氯化物含量<0.008%。
6 节能环保
纳米陶瓷隔热控温涂层材
涂在玻璃上成膜后:可见光透射比:≥70 %;红外线透射比≤10%; 紫外线透射比:(0~50) %(可调)。
低挥发有机硅表面活性剂
有机硅单体挥发物含量:D4(八甲基环四硅氧烷)<0.1%;D5(十甲基环五硅氧烷)<0.1%;D6(十二甲基环六硅氧烷)<0.1%。
7 前沿新材料 石墨烯改性粘胶纤维 金黄色葡萄球菌抑菌率≥99%,大肠杆菌抑菌率≥99%,白色念珠菌抑菌率≥99%;远红外发射率≥0.9,远红外辐照温升≥2℃。
公里级超导电缆用第二代高温超导带材
临界电流≥250A/cm;抗拉应力>400MPa;抗拉形变≤0.40%;最小转弯半径≤20mm。
经专项审核符合要求的其他前沿新材料。

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